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走査型電子顕微鏡での元素組成分析を高い空間分解能で実現

2019年11月5日

走査型電子顕微鏡(SEM)中でのエネルギー分散型エックス線分光法(EDS)による元素分析を従来よりも2桁以上高い空間分解能で可視化する技術を開発しました。

走査型電子顕微鏡での元素組成分析を高い空間分解能で実現 -カーボンナノチューブの表面官能基の均一性を微細構造レベルでイメージング-